沸石转轮中VOCs残留的处置
今朝***表里对VOC的结尾处置方式有冷凝、吸附、氧化、生物处置、接收、等离子体污染等。以沸石为载体的吸附稀释法处置VOCs废气(沸石转轮)已取得普遍操纵。我***防治VOCs的请求和力度慢慢增强，沸石轮吸附稀释法处置低浓度废气成为很多企业***的处置计划。
在操纵进程中，VOCs残留在转轮中，会致使沸石转轮降解，下降处置效力。若何避免和处置如许的情况？
为了削减沸石转轮装备中VOCs的残留，应改良VOCs废气的进口品质，进步脱附效力。
1.废气预处置
废气预处置办法凡是包含除尘、除湿、除雾、高沸点去除等。按照待处置VOCs废气的现实情况，挑选适合的废气预处置办法。比方半导体的制作工艺对出产现场的颗粒物有严酷的请求，普通都是洁净车间。是以，无机废气中颗粒物的含量很小，凡是不须要除尘预处置。
比方，芯片制作出产进程中操纵的首要无机质料凡是具备低沸点和挥发性的***点，但仍不解除少许高沸点物资，如汽提液的首要成份二甘醇胺(沸程218 ~ 224℃)。在高沸点物资的处置进程中，能够增添冷凝、后期活性炭吸附等预处置装配，避免VOCs废气中难以脱附的高沸点物资进入沸石转轮。
高沸点的VOCs进入废气管道后轻易冷凝，从而增添废气的湿度。当进入沸石转轮体系的无机废气湿度跨越80%时，会对疏水性沸石份子筛产生严峻影响。是以，倡议对高湿度废气增添枯燥除湿预处置装配，使进入废水转轮体系的废气湿度坚持在不变可控的规模内。
2.低温再生
据***内芯片企业查询拜访，芯片制作行业经常操纵的无机物有异丙醇(沸点82.45℃)、丙二醇单甲醚醋酸酯(沸点146℃)；还含有少许高沸点物资，如二甘醇胺(沸点规模218 ~ 224℃)。
芯片制作业中沸石转轮的再生温度普通为180-200℃。在此再生温度下，二甘醇胺等高沸点物资不能有用地从沸石转轮中脱附出来，逐步在转轮中堆集。
研讨了沸石转轮体系中高沸点物资的堆集情况，能够看出，沸石转轮体系运转一个月后，转轮中确切堆集了***量的无机物，堆集的无机物量为6wt%。颠末有用的低温脱附，无机物在此中的堆集可削减40% ~ 60%摆布。是以，低温脱附能够有用去除沸石转轮中堆集的高沸点无机物。
企业应按照废气的现实产生量，阐发废气的构成和散布、高沸点物资的比例和废气总量，从而肯定低温再生的频次。适合的低温再生频次为2 ~ 3个月一次。
低温再生的温度也会影响低温脱附结果。若是低温脱附温度太低，高沸点物资没法有用去除；若是脱附温度太高，会在必然水平上影响沸石份子筛的骨架布局，从而下降其操纵寿命。低温下的脱附温度应在300℃摆布，沸石转轮外部配件应操纵能蒙受300℃低温的密封配件。
3.水洗和再生
芯片制作行业经常操纵的无机物(如异丙醇、丙二醇单甲醚乙酸酯等。)凡是具备******的水溶性，沸石转轮中堆集的高沸点物资能够经由进程水洗和再生去除。
水洗再生能够有用进步沸石转轮体系的处置效力。对工场来讲，当水洗再生次数到达4 ~ 6次/年时，沸石转轮体系的处置效力可达95% ~ 99%。是以，增添按期水洗的再生频次，能够有用避免沸石转轮中高沸点物资的堆集，坚持较高的处置效力。
因为沸石转轮凡是是经由进程在陶瓷纤维纸外表涂覆无机粘结剂来制作份子筛，不只转轮不会开裂变形，并且洗濯时也不会呈现份子筛零落致使的机能好转、操纵寿命延长等题目。
不过洗的时辰要注重水质。若是此中有***量的钙镁等离子体，则沸石外部能够构成碳酸盐，梗塞沸石转轮的蜂窝通道；水中含有的微量重金属和氯也会使沸石中毒。
值得注重的是，并不是一切的沸石转轮资料都是能够水洗的，企业在水洗和再生之前应当征询沸石转轮装备的厂家。
4.高压氛围吹扫
在停机、查抄和保护时代，用高压氛围吹扫沸石转轮。但高压氛围吹扫只能去除附着在沸石转轮外表的尘埃，而VOCs无机物凡是吸附在份子筛孔隙中，没法有用去除，须要共同上述其余处置方式遏制挑选。
