光电产物出产进程中VOCs的排放

明天，小编将持续为***家先容光电产物制功课产生废气污染的五***类产物的制作工艺：半导体集成电路、TFT-LCD、led、印刷电路板（PCB）和电子终端产物。这些也是咱们废气处置中常常碰到的题目。

① 半导体集成电路制作进程中VOCs的排放首要来历于光刻和显影进程。这些进程中，操纵无机溶液（如异丙醇）洁净晶圆外表，挥发的废气是无机废气的来历之一。同时，光刻工艺中操纵的光刻胶（photoresist）中含有挥发性无机溶剂，如乙酸丁酯等，晶圆加工进程中产生的无机废气也挥发成气体。

（2） TFT-LCD出产进程中VOCs的排放包含检测和测试。TFT-LCD的制作工艺可达到100多道工序。出产进程中操纵了多种化学无机溶剂和***殊气体，产生了***量的VOCs和庞杂的组分。TFT-LCD面板出产进程中VOCs的排放首要集合阵列工程和玄色薄膜工程。阵列工程中的光刻（胶合、暴光和显影）和玄色矩形BM膜制作、玄色矩阵膜构成（红、绿、蓝、RGB）、掩护膜构成、MVA膜、玄色膜工程中的PS（光距离）膜构成是VOCs产生的首要来历。TFT-LCD出产进程中产生的VOCs首要是异丙醇，其次是丙酮、单甲醚丙二醇和单甲醚丙二醇醋酸酯，占VOCs总量的90%以上。

③ LED电子元器件出产进程中VOCs的排放LED电子元器件出产进程中产生的VOCs污染物首要来自基板处置和光刻。LED出产进程中产生的VOC品种首要有三氯乙烯、丙二醇醚、异丙醇、丙酮、丁酮等。

④ PCB出产进程中，单面、双面和多面PCB出产进程城市产生VOCs。VOCs的加工关头比拟集合，首要来自贴膜、枯燥、印刷等行业。挥发性无机化合物的排放范例首要包含甲醛、醇类（乙醇、异丙醇、丁醇、丙醇）、酮类（丁酮）和酯类。储存进程中会产生一些挥发性无机物，乙酸乙酯的产生和排放是挥发性无机物的首要来历。

⑤ 电子终端产物制作进程中VOCs的排放电子终端产物制作进程中，VOCs的首要来历包含电路板洗濯剂（接纳无机溶剂型洗濯剂）的无机废气、电路板三层防喷漆废气、，机械（底盘）喷漆废气、底盘注塑废气。这些废气来自站场部分排气体系，具备排气量***、浓度低的***点。