沸石转轮中VOCs残留的处置方式
此刻***表里对VOC的开头办理方式有：冷凝、吸附、氧化、生物处置、接收、等离子体净化等。以沸石材料为载体的吸附稀释法处置VOC废气（沸石转轮）取得了较为普遍的应用。全***对VOCs净化物防治的请求和力度慢慢增强，低浓度废气办理的沸石转轮吸附稀释法成了良多企业的***选办理打算。
在应用的历程中，由于VOCs在转轮外部的残留，会致使沸石转轮劣化，处置功率降落，要怎样防止和应答如许的情况呢？
降落沸石转轮装备外部VOCs残留***要从改良VOCs废气的进气品质和增强脱附功率两方面动手。
01. 废气预处置
废气预处置方式普通有除尘、除湿、除雾、除高沸物等。针对要处置的VOCs废气理论情况，需拔取得当的废气预处置方式。比喻，半导体出产建造历程对出产场合的颗粒物有峻厉的请求，出产场合普通为干净车间。因此，无机废气中的颗粒物含量很少，普通无需遏制除尘预处置。
比喻，芯片建造业出产历程中应用的***要无机材料普通具备低沸点、易挥发的***色，但仍不打扫多数高沸点物资，如剥离液的***要成份二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可在高沸点物资的处置工序中增设冷凝、前道活性炭吸附等预处置装备，以防止VOCs废气中难脱附的高沸点物资进入沸石转轮。
高沸点VOCs进入废气管道后简略凝集，而后使废气湿度增***。当进入沸石转轮体系的无机废气湿度***于80%时，将对疏水性沸石份子筛产生较为严重的影响。因此，主意对高湿度废气增设死板除湿预处置装备，使得进入废水转轮体系的废气湿度对峙在牢固、可控的规模内。
02. 低温再生
按照对***内芯片企业睁开的调研可知，芯片建造业经常操纵的无机物资有异丙醇（沸点为82.45℃）、丙二醇单甲醚乙酸酯（沸点为146℃）；一路还含有多数的高沸点物资，比方二甘醇胺（沸程218～224℃）。
普通芯片建造业沸石转轮的再生温度为180-200℃，在此再生温度下，高沸点的二甘醇胺等物资将没法从沸石转轮上有效脱附，而后慢慢堆集在转轮外部。
经由进程对沸石转轮体系的高沸点物资调集情况睁开的钻研，可知当沸石转轮体系运转1个月后，转轮外部简直有较良多的无机物堆集，其无机物堆集量即达6wt%。遏制有效的低温脱附以后，其外部的无机物堆集量可降落约40%～60%。因此，低温脱附可较为有效地去除沸石转轮外部堆集的高沸点无机物资。
企业应按照废气的理论产生情况，分化废气组成漫衍，分化高沸点物资占比情况，和废气的产生总量等外容，而后确认低温再生频率。较为合适的低温再生频率为2～3个月一次。
低温再生的温度也会影响低温脱附感化。若低温脱附温度拔取太低，则高沸点物资仍没法有效脱除；若低温脱附温度拔取太高，将对沸石份子筛的骨架布局产生肯定的影响，而后降落其应用寿命。低温脱附温度宜拔取300℃摆布，并且，响应的沸石转轮外部配件均需选用可耐300℃低温的密封配件。
03. 水洗再生
芯片建造业经常操纵的无机物资（如异丙醇、丙二醇单甲醚乙酸酯等）普通具备较***的水溶性，可选用水洗再生的方式去除沸石转轮外部调集的高沸点物资。
水洗再生可有效前进沸石转轮体系的办理功率，对于工场，当水洗再生次数达到4～6次/年时，沸石转轮体系的办理功率可达95%～99%。因此，得当增加按时水洗再生频率，可有效防止高沸点物资在沸石转轮外部的调集，对峙高办理功率。
由于沸石转轮普通选用无机粘合剂将份子筛涂覆在陶瓷纤维纸表面建造而成，故水洗时不但转轮不会产生龟裂形变，也不会产生由于份子筛掉落所致使的功效劣化、应用寿命延长等题目。
可是，水洗时须要寄望水质情况，若其间良多含有钙、镁等离子，将能够在沸石外部组成碳酸盐，梗塞沸石转轮的蜂窝状孔道；水中所含微量重金属物资、氯等也会毒化沸石。
值得寄望的是，并非统统沸石转轮质料均耐水洗，企业应在水洗再生之前，向沸石转轮装备的建造厂商做***相干的征询功课。
04. 高压氛围吹扫
企业在停机检验理时代，选用高压氛围对沸石转轮遏制吹扫。可是，高压氛围吹扫普通只可革除沸石转轮表面附着的灰尘，而VOCs无机质普通吸附在份子筛孔道外部，没法取得有效的脱除，还需与上述其余处置方式协作选用。
