自觉装配“沸石转轮”废气处置装备，不注重这些题目，随时会爆炸
此刻***表里对VOC的开头处置方法有：冷凝、吸附、氧化、生物处置、接收、等离子体净化等。以沸石资料为载体的吸附稀释法处置VOC废气（沸石转轮）取得了较为普遍的应用。
全***对VOCs净化物防治的请求和力度慢慢增强，低浓度废气处置的沸石转轮吸附稀释法成了良多企业的***选处置打算。
总结沸石转轮体系运转进程中潜伏的风险风险，寻找防范、改良或处置路子，对沸石转轮体系在芯片制功课更宁静、牢固、高效地运转具备很是首要的寄义。
焖烧事端分化：颠末对业界某次沸石转轮焖烧事端睁开的查问分化发明，致使焖烧事端的缘由***要有如下几个方面：
（1）产生焖燃的沸石转轮体系由于永劫间运转，其转轮外部堆集了较高浓度的高沸点物资。
（2）沸石转轮的脱附风机运转频率设置偏低，使得脱附效力下降，更多VOCs残留在沸石转轮外部，未有效脱除，在永劫间运转已有的VOCs残留根本长进一步堆集。
（3）该套沸石转轮虽内置水喷淋头，并设有主动节制体系，但在焖燃进程中生效，没法普通运转，致使熄灭延长。
为防范此类沸石转轮焖烧任务，应偏重从以下几个方面增强风险防控：
(1)下降VOCs残留，强化脱附效力；
(2)强化监控方法；
(3)强化风险防范及装备掩护颐养。
下降VOCs残留
下降沸石转轮外部VOCs残留可从改良VOCs废气的进气品质和增强脱附效力两方面动手。
（1）废气预处置
废气预处置方法普通有除尘、除湿、除雾、除高沸物等。针对待处置的VOCs废气实际状况，拔取得当的废气预处置方法。比喻，半导体出产建造进程对出产场合的颗粒物有峻厉的请求，出产场合普通为干净车间。因此，无机废气中的颗粒物含量很少，普通无需遏制除尘预处置。
比喻，芯片制功课出产进程中应用的***要无机资料颠末具备低沸点、易挥发的***点，但仍不打扫多数高沸点物资，如剥离液的***要成份二甘醇胺（沸程218～224℃）等。可在高沸点物资***要应用工序增设冷凝、前道活性炭吸附等预处置装备，以下降VOCs废气中难脱附高沸点物资进入沸石转轮。
高沸点VOCs进入废气管道后简略产生凝集，而后使废气湿度增***。当进入沸石转轮体系的无机废气湿度***于80%时，将对疏水性沸石份子筛产生较为严重的影响。因此，主意企业对高湿度废气增设死板除湿预处置装备，使得进入废水转轮体系的废气湿度对峙在牢固、可控的规模内。
（2）低温再生
按照对***内芯片建造典范企业睁开的调研可知，芯片制功课经常操纵的无机物资有异丙醇（沸点为82.45℃）、丙二醇单甲醚乙酸酯（沸点为146℃）；一路还含有多数的高沸点物资，比方二甘醇胺（沸程218～224℃）。
普通芯片制功课沸石转轮的再生温度为180-200℃，在此再生温度下，高沸点的二甘醇胺等物资将没法从沸石转轮上有效脱附，而后慢慢堆集在转轮外部。
某沸石转轮装备供货商对沸石转轮体系的高沸点物资调集状况睁开了钻研，由图1可知，当沸石转轮体系运转1个月后，转轮外部简直有较良多的无机物堆集，其无机物堆集量即达6wt。遏制有效的低温脱附以后，其外部的无机物堆集量可下降约40%～60%。因此，低温脱附可较为有效地去除沸石转轮外部堆集的高沸点无机物资。
企业应按照废气的实际产生状况，分化废气组成漫衍，分化高沸点物资占比状况，和废气的产生总量等外容，而后确认低温再生频率。较为合适的低温再生频率为2～3个月一次。
低温再生的温度也会影响低温脱附感化。若低温脱附温度拔取太低，则高沸点物资仍没法有效脱除；若低温脱附温度拔取太高，将对沸石份子筛的骨架布局产生肯定的影响，而后下降其应用寿命。低温脱附温度宜拔取300℃摆布，并且，响应的沸石转轮外部配件均需选用可耐300℃低温的密封配件。
(3)水洗再生
芯片制功课经常操纵的无机物资（如异丙醇、丙二醇单甲醚乙酸酯等）普通具备较***的水溶性，可选用水洗再生的方法去除沸石转轮外部调集的高沸点物资。
水洗再生可有效前进沸石转轮体系的处置效力，对于工场1，当水洗再生次数达到4～6次/年时，沸石转轮体系的处置效力可达95%～99%。因此，得当增加按时水洗再生频率，可有效避免高沸点物资在沸石转轮外部的调集，对峙高效的处置效力。
由于沸石转轮普通选用无机粘合剂将份子筛涂覆在陶瓷纤维纸表面建造而成。故水洗时不但转轮不会产生龟裂形变，也不会产生由于份子筛掉落所致使的功效劣化、应用寿命延长等题目。
可是，水洗时需求注重水质状况，若其间良多含有钙、镁等离子，将也许在沸石外部组成碳酸盐，梗塞沸石转轮的蜂窝状孔道；水中所含微量重金属物资、氯等也会毒化沸石。
值得注重的是，并非统统沸石转轮质料都可耐水洗，企业应在水性再生之前，向沸石转轮装备的建造厂商做***相干的征询功课。
（4）高压氛围吹扫
企业在停机检验理时代，选用高压氛围对沸石转轮遏制吹扫。可是，高压氛围吹扫普通只可清晰沸石转轮表面附着的灰尘，而VOCs无机质普通吸附在份子筛孔道外部，没法取得有效的脱除，还需与上述其余处置方法协作选用。
风险事端产生常常并非一蹴即至，而是颠末永劫间的堆集，从质变到骤变的进程。因此，颠末增强监控，可在肯定水平上实时发明题目，实时处置题目，实时处置题目，而后避免风险事端的产生。
体系监控能够也许从以下几个方面睁开。
(1) 增强废气浓度的监测
在废气体系打算前，要对各废气吸入点的可燃物浓度遏制检测分化，节制各废气吸入点的易燃物资的浓度低于爆炸上限，并要遏制普通功课状况或非普通功课状况下的可燃气体浓度检测。
(2) 增强装备管路湿度监控，取得管道内物资凝集状况、取得管路湿度状况，实时发明高湿度废气，做***防范预警方法。
(3) 增强装备压降监控，实时发明装备超压、管路梗塞等变态状况。
(4) 增强再生区温度监控，并将监控旌旗灯号接入中控体系或
报警体系，实时发明温度变态状况。颠末按时监测或在线监控等手段，对以上内容睁开监控。若以上监控因子显现骤变或变态状况，则也许存在开头处置装备变态或处置效力下降等事端，颠末实时对监控状况遏制分化并睁开题目排查，可有效下降风险事端产生的几率。
强化风险防范及装备掩护颐养
(1) 氮气掩护
产生焖燃事端的另外一个首要缘由是由于沸石转轮体系中含有氧气。当体系在200℃下脱附时，若体系变态中断无气流流转、且无外加氧气供应，废气中的VOCs成份及在转轮上聚合的高沸点物资，将借由转轮中沸石与原残留于转轮孔道及沸石孔隙中的氧气产生触媒反映，而后组成放热产生闷燃。
因此，主意企业以纯气(如氮气)作为体系变态停机时的掩护气，置换转轮体系中残留的氧气，以下降事端几率。
除此以外，氮气掩护体系还可颠末主动节制体系与水喷淋体系串连。当体系变态时，通入氮气掩护，充氮30s后若体系变态仍未消弭，则立即关闭水喷淋体系，进一步下降事端几率。
(2) 沸石转轮掩护颐养
沸石转轮即使按时遏制低温再生，其外部堆集的高沸点物资仍没法做到完全脱除。因此，沸石转轮体系颠末终年的吸附稀释，其外部仍会残留肯定量的高沸点物资，且高沸点物资含量愈来愈多，而后影响沸石转轮的功效。
除此以外，反复吸附、脱附，多次低温再生或水洗再生，均会对沸石份子筛构成肯定的侵害。因此，沸石转轮虽在实际上可反复地吸附脱附，但实际应用中，却常常存在肯定的应用寿命。
①替代沸石
按时替代沸石是对峙沸石转轮体系有效、宁静的运转的***有效的方法。可是，替代全部沸石转轮的资本较高。普通状况下，一个沸石转轮的价钱约100万元摆布；而沸石份子筛的价钱则便宜不少，且转轮上的吸附剂填料常常是可替代式的。
②增强装备颐养
企业可按时拜托装备供货商进厂遏制查抄、掩护，查抄装备运转进程中是不是存在宁静风险，装备各部件是不是存在老化、松动、装备泄漏等状况。颠末专业性、专攻性的查抄，可实时发明题目，并供应题目的处置打算。
企业还应要点正视装备的密封功效和密封水平。选用可耐脱附低温、可耐老化的***质的密封资料，并注重密封资料的按时查抄和按时替代。
