沸石转轮稀释+直燃式熄灭炉废气处置体系革新案例
一、案例背景
案例工场首要工序为集成电路制作，分为薄膜区，黄光区，蚀刻区，分散区及化学研磨区等5个任务区。
厂内针对各任务区所出产的差别性子的各股废气，别离以差别管道导入后端的废气处置装备处置，再由排放口排挤。此中酸碱废气别离导入洗濯塔处置排放。至于无机废气VOCS首要来自薄膜区，黄光区及分散区，经搜集导入VOCS处置体系，VOCS处置体系处置包含1套沸石转轮稀释熄灭体系及1套备用的活性炭处置体系。
二、设想前提
案例工场设有2套VOCS废气处置装备，1套沸石转轮稀释体系搭配直燃式熄灭炉及1套备用活性炭处置体系。一般操纵的废气处置体系设想处置量均为78.000Nm3/hr，未处置前的废气VOCS浓度为250~300ppm，废气温度25℃，设想处置效力为95%。
三、单位设想缺失
案例工场原计划将车间废气经沸石转轮吸附稀释后，此中风量较小的稀释废气导入熄灭炉处置，可有用削减熄灭炉体积及燃料用度。但其原接纳的直燃式熄灭炉体系，因装备老旧，其热互换效力已低于60%，且设想时并未斟酌废气中无机物所能供给的热值，以是形成操纵燃料本钱偏高。
四、改良计划与效益
针对效力较低的沸石稀释转轮搭配直燃式熄灭炉的废气处置体系，经多方面评价后，若是辅以蓄热介质及斟酌废气中无机物所能供给的热值，则其热收受接管效力将可达到90%以上，有用下降燃料的须要量。案例工场决议增设1套沸石转轮搭配蓄热式熄灭炉装备，固然其初设本钱相较于原装备较高，但装备回馈年限不到一年，并将原装备作为备用装备如表1。
1. 装备处置的道理比拟
处置手艺申明
沸石转轮稀释+蓄热式熄灭炉 VOCs废气经转轮处置后，按照所设想的稀释比例（以12倍为例），此中11/12的风量经稀释处置后间接排入***气中，效力可达95%以上；其他的1/12风量废气，经稀释落后入蓄热式熄灭炉（RTO）处置，热收受接管效力90%以上，以熄灭机明火900℃低温，将VOVs改变为CO2及H2O。
2. 增设沸石转轮搭配蓄热式熄灭炉VOCs处置装备，有用下降燃料耗损用度其规格资料详表参数表。
名目
处置风量（Nm3/hr） VOC处置浓度 转轮尺寸
稀释比 RTO炉型式 操纵温度
设想参数 78000 250~300ppm@ch4 4200mm 11：1 双槽式 800~900℃
3. 在现实操纵上，操纵燃料的比拟详表3所示，VOCs未处置前浓度为3.430ppm，经处置后浓度为186ppm，去除率为94.6%【（3.430-186）/3.430=94.6%】，详表所示。
燃料操纵比拟表
体系品种 燃料均匀操纵量（Nm3/hr） 燃料用度（元/年）
沸石转轮稀释+直燃式熄灭炉 21.8 -----
沸石转轮稀释+蓄热式熄灭炉 5.1 -----
表4处置前后VOCs检测成果
名目 处置前 处置后 去除率
检测成果 3.430ppm 186ppm 94.6%
排放规范 ----- ----- 90%
4. 由上述成果可发明，操纵沸石转轮稀释+蓄热式熄灭炉的燃料操纵量约为沸石转轮稀释+直燃式熄灭炉的1/4，对企业节流经营本钱的收入将有很是***的赞助。
