沸石转轮体系的构成
沸石吸附稀释转轮燃化体系系应用吸附－脱附－稀释燃化等三项连续法式，其装备***性适合处置高流量、低净化物浓度及含多物种之VOCs 废气，其首要应用于排放较稀薄且靠拢周界温度之净化物产业，典范应用如影印、涂装制程及半导体工场等相干产业。
沸石吸附转轮组合为一中间轴承与轴承四周之撑持圆形布局撑持着转体，转体由沸石吸附介质与陶瓷纤维制成。转轮上包含用以分开处置废气及处置后释出干净气体之密封垫，其质料为需能接管VOCS 侵蚀性及高操纵温度之柔嫩材料制成(普通为硅)。密封垫将蜂巢状沸石吸附转轮组合隔绝成底子之吸附区 及再生脱附区，但为前进转轮之吸附处置能力，则罕见于前二区间加一隔绝冷却区。普通吸附区为较***，而脱附区及冷却区则为两个较小且面积持平的地方置侧。偶然为***别须要亦可分成更多串连区；而吸附转轮由一组电动驱动装备用以扭转转轮，故转轮处置时为可变速、且可操控每小时扭转2 至6 转之能力。
工场所排放出之VOCS 废气进入体系后，***阶段系经过进程疏水性沸石所构成之转轮，VOCS 净化物资***先于转轮长遏制吸附；***二阶段之脱附法式是由与后端燃化体系热互换后预热之经冷却区处置后废气(约180 至250 ℃)，使其通入转轮内应用低温将无机物脱附上去，现在出流净化物浓度***约可操控为入流废气之5 至20 倍摆布，而脱附上去之无机物则可于***三阶段遏制温度于700℃以上之燃化或遏制冷凝发出再应用等法式，如斯可以也许增添后续之废气处置单位尺寸、操纵经费及装备初设用度。
沸石转轮的地方置单位以下：
（1）沸石转轮的机体是由一些***定的固体基材涂布上一层吸附剂粉末构成，基材因此陶瓷或玻璃或活性碳纤维经烧结所做成，其间陶瓷纤维因具备耐低温、热不变性高、可水洗、不行燃及耐酸碱的***性而***受普遍应用，吸附剂的种类则视欲处置的气体成份而有所差别，普通可选用活性炭、沸石等。转轮厚度普通为25cm-45cm。
（2）沸石转轮之基质为陶瓷纤维表面涂布一层吸附剂，普通为活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢状圆形转轮，再分为两个地区，别离为吸附处置区及再生脱附区，但为前进转轮之吸附能力，偶然会设想于两区之间多一个冷却区，普通吸附区较***，脱附区与冷却区为两个较小且面积持平的地方置地区。
（3）热发出装备：将VOCs熄灭或氧化后之干净氛围其温度高达500-700℃，将此局部氛围经过热互换器将热能加以发出，一路将干净氛围温度降落后将其导至转轮脱附区为转轮遏制脱附结果；若温度太高则转轮也许产生熄灭，因此进入转轮之温度不行太高，普通会设置两段热发出装备并增设一鼓风机导入新颖氛围与熄灭后之氛围夹杂，以操控脱附温度在180-220℃之规模内。为处置VOCs废气，除沸石吸附稀释转轮燃化体系外，并可在制程端如光阻涂布机台或去光阻制程废气出口端加装冷凝器，事后分流处置高沸点VOCs。
