半导体车间废气处置装备遴选规范：
(1)半导体出产车间废气处置装备的遴选是按照待消弭气体的品种、浓度、流量和压力，减排装备的处置才能，综合斟酌农药的寿命、前后与装备的干系等多种情况，遴选适合的处置方式和装备。
(2)半导体出产车间废气处置装备在夹杂时将会爆炸、动怒或形成无害物的气体处置应当是一个***立的体系。
(3)能够有自燃性气体或可燃气体活动的排风管道接纳不燃资料。
(4)不能够让半导体出产车间废气处置装备规格中划定的废气之外的废气活动，或准予***量废气活动超越废气处置装备的处置程度。
