RTO熄灭炉半导体废气处置
1、 半导体废气处置组件
半导体产业废气的首要成份是无机废气和酸碱废气。无机成份：非甲烷碳氢化合物、氮氧化物、二氧化硫等；酸碱成份：氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯等。
2、 产业排放规范
3、 半导体废气处置方式
普通半导体行业废气处置的处置计划以下：
（1） 预处置阶段：接纳喷淋塔对废水遏制预处置，去除粉尘和溶于水的无害气体。
（2） 首要处置阶段：这一阶段，较为经常操纵和有用的方式有：紫外线光解、生物过滤分化、熄灭和催化熄灭。
